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CN
創新驅動
以原子層沉積（ALD）技術為核心
化學氣相沉積（CVD）等多種真空薄膜技術梯次發展

原子層沉積 (ALD)技術：

可在復雜形貌上完成可控制在原子層精度的高質量薄膜沉積

具有：

三維共形性，廣泛適用于不同形狀的基底

大面積成膜的均勻性，且致密、無針孔

可實現亞納米級的薄膜厚度控制

精確控制納米疊層和原子摻雜比例

視頻播放

研發創新

4億

+

研發投入/營收

56200

㎡

生產研發基地

3000

+

專有技術（項）

27%

+

研發人員占比

核心技術團隊

專業團隊

行業權威，擁有數十年ALD+CVD應用開發經驗

工藝開發

團隊工藝開發經驗豐富，已開發應用數10種氧化物，氮化物，金屬等材料

專精ALD廠商

專業ALD

專注ALD工藝和應用場景，涵蓋半導體、新型顯示、新能源等行業

專業解決方案

針對客戶不同需求，專業化和定制化提出解決方案

國內領先前瞻應用定制化

前瞻應用

精通ALD前瞻應用，滿足客戶各類先進性產品的需求

定制開發

精通ALD工藝及應用場景，為客戶定制化開發可量產的工藝及設備

國內唯一全場景Demo設備線

全場景Demo

全場景Demo經驗豐富，為客戶提供全方位解決方案支持

量產經驗

在邏輯、存儲、化合物半導體等領域經過量產驗證，并獲得重復訂單

智造創新

我們推行精益生產管理，搭建智能制造協同平臺（簡稱MES），采用Smart Lable等智能工廠物流系統，實現了生產計劃排程、生產進度實時分析、生產資源有效分配、 產品質量安全追溯等，進一步縮短采購周期、提升生產效率、降低經營成本，以數字化、智能化制造賦能創新發展。

半導體設備規劃產能

總面積≈5000㎡，共三期
年產能：140套

光伏設備規劃產能

總面積≈20000㎡
月產能：ALD主機+自動化，40臺
擴散/poly/退火/ALD/管P，60臺

服務創新

我們始終堅持以客戶為中心的服務理念，發揮本土供應商的優勢，為客戶提供量身定制的全方位服務，持續幫助客戶優化系統性能，減少成本，快速響應市場需求。
提供專用/定制工具
1/7
質保期內365天*24小時技術支持
2/7
立即響應客戶端需求，重大疑問2小時內給出解決方案，24小時內到達現場處理
3/7
客戶端設立備件庫，關鍵/易損部件備貨100%，非常規件到達現場<36小時
4/7
質保結束后，每年現場協助客戶設備巡檢2次，軟件終身免費升級
5/7
項目有專職工程師跟蹤服務，專業專一
6/7
長期保存圖紙，20年零部件供應，解決后顧之憂
7/7
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