隧穿氧化/多晶硅沉積
祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系統(tǒng)
祝融系列ZR5000×3管式 PEALD/PECVD集成鍍膜平臺(tái)延伸祝融系列概念，一體式設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)氮化硅正膜、氧化鋁/背膜、氧化硅/多晶硅鈍化膜一站式完成，可實(shí)現(xiàn)單道產(chǎn)能翻倍，節(jié)省占地面積。ZR5000×3兼具先進(jìn)的制造執(zhí)行管理系統(tǒng)（MES）和自動(dòng)導(dǎo)引車(chē)（AGV）對(duì)接功能。在提供超高產(chǎn)能的同時(shí)，最大程度降低設(shè)備的運(yùn)營(yíng)成本，為后PERC高效電池技術(shù)提供理想可靠的量產(chǎn)解決方案，引領(lǐng)光伏產(chǎn)業(yè)化高效電池制造。
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