高精度壓力調(diào)節(jié)控制技術(shù)，提高薄膜階梯覆蓋率
1
可以控制膜的成份和結(jié)構(gòu)，滿足多元摻雜工藝需求
2
自主研發(fā)高精度制程邊緣控制技術(shù)，減少晶圓去邊，提高晶圓利用率
3
帶ESC多區(qū)加熱陶瓷盤(pán)，可以實(shí)現(xiàn)高溫工藝，減少背面沉積，避免等離子體損傷
4
自主設(shè)計(jì)的多區(qū)域吹掃功能，減少顆粒污染，延長(zhǎng)清洗周期
5
多區(qū)域溫度控制設(shè)計(jì)，溫度控制精度高，薄膜均勻性好
6
