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CN
產(chǎn)品技術(shù)
產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用中心
后羿?系列 板式ALD系統(tǒng)
采用自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的真空腔內(nèi)溫場(chǎng)和流場(chǎng)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)空間型原子層沉積鍍膜工藝方式，為鈣鈦礦薄膜太陽電池組件產(chǎn)線提供高質(zhì)量氧化物功能層薄膜材料，以確保量產(chǎn)組件的高效率和長壽命。面向平米級(jí)玻璃襯底，高速鍍膜解決方案，適配線型產(chǎn)線的生產(chǎn)節(jié)拍，集成成熟的上下料自動(dòng)化方案，為客戶提供可靠的大規(guī)模量產(chǎn)解決方案。
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產(chǎn)品特點(diǎn)
適用于正式或反式、單結(jié)或疊層的鈣鈦礦薄膜太陽電池組件
1
針對(duì)平米級(jí)面積玻璃襯底，常用尺寸0.6×1.2 ㎡/1.2×2.4 ㎡可客戶定制
2
制備氧化錫（SnOx）和氧化鋁（AlOx）等高質(zhì)量致密氧化物薄膜
3
優(yōu)異的薄膜厚度面積均勻性，片內(nèi)<5%，批間<5%
4
適配于大面積襯底線性產(chǎn)線的生產(chǎn)節(jié)拍60s/片@ 20nm
5
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